Molybdän-Cluster auf Molybdänoberfläche
Dieses Beispiel von Molybdän-Clustern aus etwa 1000 Atomen macht die Bedeutung der Stoßenergie für den ECI-Prozeß deutlich. Gezeigt sind drei Atomlagen breite Schnitte senkrecht zur Oberfläche. Unbeschleunigte Cluster (linkes Bild) besitzen lediglich die Schallgeschwindigkeit des zur Clustererzeugung notwendigen Trägergases (Ar). Deshalb bleibt ihre Struktur bei der Deposition nahezu unverändert ("soft landing"). Mit 10 kV beschleunigte Cluster hingegen graben sich in die Oberfläche ein und bilden einen flachen Krater (siehe rechte Grafik).