Simulation des Schichtwachstums
Der Einfluß der Stoßenergie auf die Schichtmorphologie ist an diesen Simulationen von 40 nacheinander auftreffenden Clustern zu erkennen. Unbeschleunigte Cluster (100 eV) bilden eine poröse Schicht (Fingerwachstum) mit schlechter Unterlagenhaftung. Mit wachsender Beschleunigungsspannung wird die Schicht jedoch zunehmend dichter (1 kV) und es kommt schließlich zu einer Verzahnung zwischen Unterlage und Schicht (10 kV). Dies erklärt die gute Haftung der ECI-Schichten.